实时反馈控制

时间：2023-04-25 07:27:02 | 来源：营销百科

时间：2023-04-25 07:27:02 来源：营销百科

实时反馈控制：图3FIB-CVD实时反馈控制的系统示意图。通过使用测量精度达0.01 pA的超精密电流计测器(美国Keithley公司制，型号6514)实时监测试样台的电流。实时(周期约为344 ms)获取电流计测器上的电流数据，以此判断悬臂结构的实时侧向生长角度。如果生长角度偏离水平方向时，相应地增加或减少FIB的剂量直至侧向生长角度回到水平方向。根据所要制备的悬臂式纳米线结构和纳米块结构，分别使用常见的两种FIB扫描方式，即模拟式扫描和离散式扫描。分别通过控制FIB扫描速度和单点照射时间来实时控制FIB的剂量。