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阿斯麦公司Cymer

时间:2022-02-17 02:40:02 | 来源:信息时代

时间:2022-02-17 02:40:02 来源:信息时代

ASML于2012年10月宣布收购Cymer公司,以加快EUV的研发进度。Cymer公司是世界领先的准分子激光源提供商,发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源。产品主要特性是:带宽窄,运行速度高,可靠性强。Cymer光源在批量生产符合特定规格的的世上最先进的半导体芯片时起着决定性的作用。

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